光刻机是制造芯片的基础。其实,大多数人认为,芯片技术是综合性水平较高的技术,而光刻机就把尖刀,刺在心口,芯片是命,光刻机是防护的存在。但是,我国因为光刻机的限制,对于我们来说,没有光刻机,就警惕芯片带来的危机。
光刻机是采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上的设备。光刻机(lithography)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。
光刻机是一种用于制造微型电子设备的机器。它利用光刻技术,将芯片设计图案转移到硅片表面上,制造微型集成电路、光电器件和MEMS等微型器件。 光刻机的工作原理 光刻机的工作原理是利用紫外线光学系统将芯片设计图案投射到硅片表面上,然后将硅片暴露在光线下,使其被照射。
光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。
ASML公司是全球领先的EUV光刻机制造商之一,其制造的EUV光刻机可以实现5nm芯片的制造。这些设备由于技术领先,因此价格不菲,约为1亿美元,但它们是制造高效,高质量芯片的必要条件。 EUV光刻机的发展前景 EUV光刻机具有非常广阔的应用前景。
SSMB光源有潜力成为未来EUV光刻机的光源,这也是国际社会高度关注清华大学SSMB研究的原因之一。 在芯片制造行业,光刻机是制造集成电路芯片时必不可少且最为关键的设备。光刻机的曝光分辨率与波长直接相关,半个多世纪以来,光刻技术中光源的波长一直在缩小。
台积电和三星的7nm/5nm工艺,都是依赖ASML光刻机来进行生产。据英特尔内部透露,他们也将拥有ASML下一代High-NA EUV最强光刻机,2025年就会开始用以制造芯片。近年来,半导体制造行业的竞争愈演愈烈,但对于这个准入门槛极其严苛,且投入成本庞大的专业领域来说,依然是台积电、三星等传统巨头的天下。